大面積金剛石膜沉積過程中的熱應力分析

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大面積金剛石膜沉積過程中的熱應力分析

黃天斌, 劉敬明, 唐偉忠, 佟玉梅, 于文秀, 呂反修

文章導航 > 工程科學學報 > 2000 > 22(2): 153-155

黃天斌, 劉敬明, 唐偉忠, 佟玉梅, 于文秀, 呂反修. 大面積金剛石膜沉積過程中的熱應力分析[J]. 工程科學學報, 2000, 22(2): 153-155. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.02.016

引用本文:

黃天斌, 劉敬明, 唐偉忠, 佟玉梅, 于文秀, 呂反修. 大面積金剛石膜沉積過程中的熱應力分析[J]. 工程科學學報, 2000, 22(2): 153-155. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.02.016

HUANG Tianbin, LIU Jingming, TANG Weizhong, TONG Yumei, YU Wenxiu, LU Fanxiu. Thermal Stress Analysis of Large Area Diamond Films[J]. Chinese Journal of Engineering, 2000, 22(2): 153-155. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.02.016

Citation:

HUANG Tianbin, LIU Jingming, TANG Weizhong, TONG Yumei, YU Wenxiu, LU Fanxiu. Thermal Stress Analysis of Large Area Diamond Films[J]. Chinese Journal of Engineering, 2000, 22(2): 153-155. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.02.016

黃天斌, 劉敬明, 唐偉忠, 佟玉梅, 于文秀, 呂反修. 大面積金剛石膜沉積過程中的熱應力分析[J]. 工程科學學報, 2000, 22(2): 153-155. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.02.016

引用本文:

黃天斌, 劉敬明, 唐偉忠, 佟玉梅, 于文秀, 呂反修. 大面積金剛石膜沉積過程中的熱應力分析[J]. 工程科學學報, 2000, 22(2): 153-155. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.02.016

HUANG Tianbin, LIU Jingming, TANG Weizhong, TONG Yumei, YU Wenxiu, LU Fanxiu. Thermal Stress Analysis of Large Area Diamond Films[J]. Chinese Journal of Engineering, 2000, 22(2): 153-155. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.02.016

Citation:

HUANG Tianbin, LIU Jingming, TANG Weizhong, TONG Yumei, YU Wenxiu, LU Fanxiu. Thermal Stress Analysis of Large Area Diamond Films[J]. Chinese Journal of Engineering, 2000, 22(2): 153-155. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.02.016

大面積金剛石膜沉積過程中的熱應力分析

doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.02.016

北京科技大學材料科學與工程學院, 北京 100083

基金項目:

國家“863”高科技資助項目(No.715-002-Z030)

作者簡介:
黃天斌,男,28歲,博士

中圖分類號: TB43
計量
- 文章訪問數: 207
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- 被引次數: 0
出版歷程
- 收稿日期: 1999-01-12
- 網絡出版日期: 2021-08-27

Thermal Stress Analysis of Large Area Diamond Films

Materials Science and Engineering School, UST Beijing, Beijing 100083, China

摘要: 應用實際工作狀態的邊界條件計算了金剛石膜中的熱應力分布,并用實驗手段進行了驗證.結果認為,金剛石膜的熱應力沿徑向是不均勻的,中間的熱應力要比邊部的大,主要是壓應力.這種很大的壓應力,容易引起金剛石膜的炸裂.
- 大面積金剛石膜 /
- 熱應力 /
- 數值計算
Abstract: The distribution of the thermal stress of large area diamond films is given by applying the actual boundary condition, and it is checked by experiments. The result is that the thermal stress of large area diamond films is not uniform, the thermal stress in the middle of large area diamond films is lager than that in the edge of large area diamond films, the press stress is the mainly part of the thermal stress. The crack of diamond films is mainly duo to the large press stress.
- large area diamond films /
- the thermal stress /
- numerical calculation

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