微波等離子體CVD金剛石薄膜的顯微結構

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微波等離子體CVD金剛石薄膜的顯微結構

袁逸, 楊保雄, 白元強, 王建軍, 呂反修

文章導航 > 工程科學學報 > 1994 > 16(3): 245-249

袁逸, 楊保雄, 白元強, 王建軍, 呂反修. 微波等離子體CVD金剛石薄膜的顯微結構[J]. 工程科學學報, 1994, 16(3): 245-249. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1994.03.010

引用本文:

袁逸, 楊保雄, 白元強, 王建軍, 呂反修. 微波等離子體CVD金剛石薄膜的顯微結構[J]. 工程科學學報, 1994, 16(3): 245-249. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1994.03.010

Yuan Yi, Yang Baoxiong, Bai Yuanqiang, Wang Jianjun, Lu Fanxiu. Microstructure of Diamond Thin Films by Microwave Plasma CVD[J]. Chinese Journal of Engineering, 1994, 16(3): 245-249. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1994.03.010

Citation:

Yuan Yi, Yang Baoxiong, Bai Yuanqiang, Wang Jianjun, Lu Fanxiu. Microstructure of Diamond Thin Films by Microwave Plasma CVD[J]. Chinese Journal of Engineering, 1994, 16(3): 245-249. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1994.03.010

袁逸, 楊保雄, 白元強, 王建軍, 呂反修. 微波等離子體CVD金剛石薄膜的顯微結構[J]. 工程科學學報, 1994, 16(3): 245-249. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1994.03.010

引用本文:

袁逸, 楊保雄, 白元強, 王建軍, 呂反修. 微波等離子體CVD金剛石薄膜的顯微結構[J]. 工程科學學報, 1994, 16(3): 245-249. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1994.03.010

Yuan Yi, Yang Baoxiong, Bai Yuanqiang, Wang Jianjun, Lu Fanxiu. Microstructure of Diamond Thin Films by Microwave Plasma CVD[J]. Chinese Journal of Engineering, 1994, 16(3): 245-249. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1994.03.010

Citation:

Yuan Yi, Yang Baoxiong, Bai Yuanqiang, Wang Jianjun, Lu Fanxiu. Microstructure of Diamond Thin Films by Microwave Plasma CVD[J]. Chinese Journal of Engineering, 1994, 16(3): 245-249. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1994.03.010

微波等離子體CVD金剛石薄膜的顯微結構

doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1994.03.010

北京科技大學材料科學與工程系, 北京 100083

基金項目:

技術新材料專家委歷會資助項目

作者簡介:
袁逸女 53歲副教授

中圖分類號: O613.71;O76
計量
- 文章訪問數: 199
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- 被引次數: 0
出版歷程
- 收稿日期: 1993-10-08
- 網絡出版日期: 2021-11-13

Microstructure of Diamond Thin Films by Microwave Plasma CVD

Department of Marterials Science and Engineering, USTB, Beijing 100083, PRC

摘要: 用掃描電鏡(SEM)和透射電鏡(TEM)對6種微波等離子體CVD金剛石薄膜的表面形態和顯微結構進行了研究.結果表明:在金剛石晶粒長大過程中,(111)面方向長大時產生密度很高的微孿晶缺陷,而(100)面方向長大時產生的晶體缺陷較少.
- 金剛石 /
- 薄膜 /
- 顯微結構/MPCVD
Abstract: The morphology and the microstructure of six different dianond films deposited by microwave plasma CVD have been studied by SEM and TEM.The observations of microstructure indicate that high dencity microtwins are formed during the(111)planes growth and a few of crystal defects are formed during the(100) planes growth.
- diamond /
- thin films /
- microstructure/MPCVD

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